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C2GR16-氣相沉積爐

簡(jiǎn)要描述:熱誘導(dǎo)的化學(xué)氣相滲透(英語(yǔ):chemical vaporinfiltration ,CV)是一個(gè)與CVD有關(guān)的技術(shù),以在基體材料滲入多孔或纖維預(yù)成型件以制備由復(fù)合材料制成的部件具有改善的機(jī)械性能,耐腐蝕性,耐熱沖擊性和低殘余應(yīng)力。

  • 更新日期:2025-02-11
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:576
  • 技術(shù)數(shù)據(jù)
  • 規(guī)格
  • 應(yīng)用
  • 主要成分
  • 下載

一、設(shè)備基本原理與特點(diǎn)

1. 基本原理

熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(英語(yǔ):chemical vapor deposition ,CVD)是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式,無(wú)論是單晶,多晶,無(wú)定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài)。典型的涂層材料包括熱解碳,碳化硅,氮化硼。通過(guò)使用合成前體,涂層非常純凈并目滿(mǎn)足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求,根據(jù)工藝參數(shù),可以有多種層厚度,從單個(gè)或幾個(gè)原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層,以及厚度達(dá)100微米的單片部件,甚至高達(dá)數(shù)毫米。

2.設(shè)備特點(diǎn)

  1. 采用臥式、側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu):裝、卸料精度高,操作方便;
  2. 采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)范圍小;
  3. 溫度均勻性好:平均溫度均勻性為±5℃;
  4. 采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
  5. 全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
  6. 安全性能好:采用HMI+PLC+PID壓力傳感控制,安全可靠;
  7. 對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理;
  8. 多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
  9. 采用設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率極低。

二、主要技術(shù)參數(shù)

編號(hào) 

C2GR16

產(chǎn)品型號(hào) 

VHCgr-20/20/30-1600

最高設(shè)計(jì)溫度(   

1600

加熱元件

等靜壓石墨

加熱功率(Kw

45

冷態(tài)極限真空度( Pa  

  6.7x10-3Pa(空爐、冷態(tài)、經(jīng)凈化)

測(cè)溫元件

鎢錸熱電偶

升溫速率

1~20℃/min

溫度均勻性

±5℃(5點(diǎn)測(cè)溫,恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測(cè))

爐膛尺寸(mm)

200x200x300(WxHxD

可通入氣氛

1路CH3SiCI3、1路氨氣、1路氫氣、1路氮?dú)?/span>

氣氛流量計(jì) 

4路質(zhì)量流量計(jì)

設(shè)備外形尺寸( mm  

1425x1550x1850mm(DxWxH)

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