性欧美18-19sex性高清播放,综合亚洲日韩偷窥另类图片,欧美精品久久久久久久自慰,草草久久久无码国产专区

當(dāng)前位置:首頁  >  應(yīng)用案例  >  先進陶瓷及復(fù)合材料領(lǐng)域  >  ITO靶材燒結(jié)工藝

聯(lián)系我們

  • 電話:13917898272
  • 郵箱:sale@haoyue-group.com
  • 地址:上海市嘉定區(qū)嘉松北路7301號B2棟
  • 工廠:江蘇省南通市通州區(qū)聚豐科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園1號廠房

ITO靶材燒結(jié)工藝

發(fā)表時間:2020-10-26      點擊次數(shù):3729

    ITO(氧化銦錫)是制備ITO導(dǎo)電玻璃的重要原料。ITO靶材經(jīng)濺射后可在玻璃上形成透明ITO導(dǎo)電薄膜,其性能是決定導(dǎo)電玻璃產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率、成品率的關(guān)鍵因素。ITO靶材性能的重要指標是成分、相結(jié)構(gòu)和密度,ITO濺射靶材的成分為In2O3+SnO2,氧化銦與氧化錫成分配比通常為90:10(質(zhì)量比),在ITO靶材的生產(chǎn)過程中必須嚴格控制化學(xué)氧含量及雜質(zhì)含量,以確保靶材純度。

 

 

ITO靶材制備流程

 

 

ITO靶材的成型工藝

 

 

    制備出成分均勻、致密度較高的初坯,對經(jīng)過低溫?zé)崦撝蜔Y(jié)后工藝處理得到的靶材的致密度和電阻率有著重要的作用。目前在靶材成形方面常用的方法主要有:冷等靜壓成形、注漿成形、爆炸壓實成形、凝膠注模成形等。

 

 

ITO靶材的燒結(jié)工藝

 

 

    經(jīng)過成形工藝處理后的ITO素坯只是半成品,素坯需要進行進一步的燒結(jié)處理得到ITO靶材。

 

 

    ITO靶材的燒結(jié)技術(shù)主要由以下幾種:常壓燒結(jié)法、熱壓法、熱等靜壓法(HIP)、微波燒結(jié)法、放電等離子燒結(jié)法等。

 

 

常壓燒結(jié)法

 

 

    又稱氣氛燒結(jié)法,是指以預(yù)壓方式制造高密度的靶材,在一定的氣氛和溫度下燒結(jié)的方法。由于對氣氛和溫度分別進行了嚴格的控制,避免了晶粒的長大,提高了晶粒分布的均勻性。

 

 

   特點:該法具備生產(chǎn)成本低、靶材密度高、可制備大尺寸靶材等優(yōu)點。但是,常壓燒結(jié)法一般通過添加燒結(jié)助劑進行燒結(jié),而燒結(jié)助劑難以徹底去除,而且在燒結(jié)過程中靶材容易斷裂,因此該法對其生產(chǎn)工藝提出了較高的技術(shù)要求。日本企業(yè)就是以其成熟的常壓燒結(jié)法作為主要技術(shù),生產(chǎn)的靶材具有高性能。

 

 

熱等靜壓法(HIP

 

 

    其原理是在高壓氬氣的氛圍下,將粉體材料置入具有高溫高壓的容器中,粉體在均勻壓力的作用下形成密度非常高的靶材。

 

 

   特點:熱等靜壓法具有燒結(jié)密度高(幾乎接近于理論燒結(jié)密度7.15g/cm3)、所需的模具不易被還原、所需的燒結(jié)溫度較低,可以制作大尺寸靶材等優(yōu)點。但是該法制作靶材所需的設(shè)備比較昂貴,生產(chǎn)效率較低,成本較高。

 

 

熱壓法

 

 

    通常是在模具中填入ITO粉體材料,單軸向加壓,并在1000 ~ 1600℃的溫度范圍內(nèi)排出氣孔來提高坯體的燒結(jié)致密度。

 

 

   特點:熱壓法一般需要同時加溫加壓,對粉體材料所施加的能量比較大,明顯地縮短了燒結(jié)時間。熱壓法成形壓力較小。同時,熱壓模具損耗大,目前多用于低端市場領(lǐng)域。

 

 

微波燒結(jié)法

 

 

    原理是對粉體材料施加微波能量,材料通過產(chǎn)生耦合振動而吸收電磁能產(chǎn)生熱量加熱材料進行燒結(jié)。

 

 

   特點:微波燒結(jié)法與傳統(tǒng)方法不同之處在于熱量是內(nèi)部加熱的元素產(chǎn)生,然后通過輻射傳遞到樣品中,而不是外加能量直接作用于粉體材料中。該法有活化能級低、燒結(jié)速率塊、燒結(jié)溫度低、分散性強等優(yōu)點。同時,在純氧氣氛下用該法燒結(jié)靶材有一定的危險性。

 

 

放電等離子燒結(jié)法

 

 

    原理是通過對粉體施加一定強度的脈沖電流,使粉體材料顆粒間放電,產(chǎn)生等離子體,粉體材料因此被加熱燒結(jié)。

 

 

   特點:放電等離子燒結(jié)法可以在很短的時間內(nèi)制備出具有高密度的材料,具有低溫、高效的特點。由于燒結(jié)溫度會對該方法有比較大的影響,當(dāng)溫度高于1000℃時,由于In2O3的劇烈分解,阻礙了致密化的進行;而且不同溫度下制備的靶材均有部分失氧。

 

 

聯(lián)系

  • 電話:13917898272

  • 郵箱:sale@haoyue-group.com

  • 地址:上海市嘉定區(qū)嘉松北路7301號B2棟

  • 工廠:江蘇省南通市通州區(qū)聚豐科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園1號廠房

留言

*
*
*
*

版權(quán)所有?2021上海皓越真空設(shè)備有限公司       備案號:滬ICP備2022033023號-3

麻豆亚洲av熟女国产一区二| 宝宝好涨水快流出来免费视频 | 香蕉欧美成人精品av在线| 色窝窝无码一区二区三区| 欧美VIVO18| 麻豆人妻少妇精品无码区 | 亚洲成AV人片在线观看无 | 欧美老熟妇乱人伦人妻| 国产我和岳拇看A片| 色哟哟在线观看免费| 亚洲av无码一区二区三区牲色 | 下载可以看免费视频的软件| 国产精品一区二区在线观看| 97人人爽人人爽乱码AV国产| 野花日本大全免费观看版动漫| 精品无码中文视频在线观看| 久久久国产精品消防器材| 国产精品成人无码免费| 精品人妻无码专区中文字幕| 麻豆XXXX乱女少妇精品潘甜甜 | 99久久亚洲精品无码毛片| 亚洲精品AV中文字幕在线| 精品久久欧美熟妇WWW| 亚洲精品成人片在线观看| 国产午夜精品一区二区三区漫画 | 欧美激情综合一区二区三区| 国产又色又爽又高潮免费| 久久久久国产精品免费a片| 日产无码久久久久久精品| 欧美丰满大胆少妇xxxooo| 三a级做爰片免费观看| 久久亚洲AV成人无码国产| 国产精品丝袜久久久久久不卡| 欧美激情视频| 亚洲精品久久久久AV无码| 欧美性猛交XXXX乱大交蜜桃| 末发育女av片一区二区在线观看 | 久久无码人妻一区二区三区| 精品久久久亚洲偷窥女厕| 免费a级毛片在线播放| 国产精品久久久久久久妇|